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Lithographiescanner ASML US Inc XT-1700Fi


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Maschinen und Geräte Beschreibung
ASML TWINSCAN XT:1700Fi 300mm Step-and-Scan Dual-Stage Immersion Lithography System

  • Note: This system is for parts only, it is not working and has several important pieces within the system either broken or non functional
  • System general description:
    OEM * ASML
    Model * XT-1700Fi
    Serial Number * m7679
    Vintage * Aug, 2006
    Wafer Size * 12"
    Geographic Location * Japan
    Process * Immersion ARF scanner
    Configuration * Gas line: CO2,F2/Ar/Ne,Ar/Xe/Ne
    Location * Clean Room
    Status "* Power down
    * Not packed"
    Condition "* Not working
    * Broken Parts: See accompanying worksheet
    * Missing Parts: None"

  • Broken Part List
    Part Number Vendor Part Number Description
    SERV.476.02011 PWR SUP +5V/+15V-15V 14/4/4A
    SERV.471.84295 PSDC 250/25 PREMIUM 24VSAFE
    SERV.634.20691 PAAC 450/20 R PPCA
    SERV.502.27933 4-CH POWER AMP CTRL01 PPCA
    SERV.634.44802 LISAF 3P ASSY
    SERV.471.74113 PSDC 59/22 ASSY
    SERV.471.84243 PADC 100/18 ASSY
    SERV.634.11742 PAAC 550/25 1100V-FET ASSY
    SERV.471.84411 MULTI CHANNEL PAC PPCA
    SERV.502.30580 ETHERNET SWITCH 10/100MB 24X
    SERV.502.28914 PHASE MEASUREMENT BOARD PHASE2
    SERV.502.29436 SHB ECAB COMPONENT BOX
    SERV.502.33030 MCCB2 P3M7448B MK2.1 ASSY
    SERV.472.12941 HEIDENHEIN INTERPOL PPCA V2.2
    SERV.646.86231 HIGH ENCORDER RESORESOLUTION BRD 3
    SERV.634.04921 WH PID MK3 PPCA
    SERV.634.05941 RH LIOS LATCH MK3+PPCA SW4.1+
    SERV.502.30555 SHIFT-IN SHIFT-OUT CTRL3.1
    SERV.502.30027 RH IRIS XT PPD ASSY
    SERV.470.80865 RS LNS COO (LCSA3) ASSY




  • Spezifikationen:
    Standard
    Metrik

    Manufacturer Name
    ASML US Inc
     

    Jahr:
    2006
    2006

    Seriennummer:
    m7679
    m7679

    Mit CE-Zeichen:
    YES
    YES

    Modell:
    XT-1700Fi
    XT-1700Fi

    Systemanforderungen:
    GASES
    GASES

    Prozessfähigkeit:
    CO2,F2/Ar/Ne,Ar/Xe/Ne
    CO2,F2/Ar/Ne,Ar/Xe/Ne

    Funktionsfähig oder nicht funktionsfähig:
    NON FUNCTIONAL
    NON FUNCTIONAL

    Is System Running or Powered Off?: :
    POWERED OFF
    POWERED OFF

    Is the system generic or process specific? :
    PROCESS SPECIFIC
    PROCESS SPECIFIC

    Empfohlene Paketform:
    CUSTOM
    CUSTOM


    Dimensions:
    Standard
    Metrik

    Overall:
    12 x 8 x 10 FT - 20000 LBS
    365.76 x 243.84 x 304.80 cm - 9072.00 kg


    Disclaimer

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