Listen Nummer 715890

Plasmaätzgerät Tegal - OEM Group, Inc Tegal 903e


Seller's Acceptable Currency:

€5,900.00 EUR

Machen Sie ein Angebot

Standort:  Europe

Niveau Entfernen:  

Wir empfehlen eine Inspektion weil

*All offers are submitted in Seller’s Acceptable Currency

Don't see what you're looking for? We'll find it for you




Maschinen und Geräte Beschreibung
Tegal - OEM Group, Inc Tegal 903e Plasmaätzgerät The etcher for sale is a Tegal 903e system, - was used for etching silicon nitride with fluorine chemistry. - the installed wafer size for the system is 4” - installed gas lines: SF6, O2, CFCl3, Ar, N2 - with front facade/panel as this is a “through the wall” system - vacuum pump for this system (Edwards 40 ) is there, - no chiller - with Monitors and and keyboards - serial no. 11295 (at least this is the ser. no. of the reaction chamber) - the year of manufacture is 1987 - Power: 220 VAC, 30 amps - System is deinstalled Sizes and Weight of system and items are estimated


Spezifikationen:
Standard
Metrik

Manufacturer Name
Tegal - OEM Group, Inc
 

Jahr:
ca. 1987
ca. 1987

Seriennummer:
11205
11205

Modell:
Tegal 903e
Tegal 903e

Prozessfähigkeit:
was not used for more than an year
was not used for more than an year

Is System Running or Powered Off?: :
POWERED OFF
POWERED OFF

Is the system generic or process specific? :
GENERIC
GENERIC

Last Known Date of Operation: :
12/2017
12/2017

Spannung:
220 V VOLTS
220 V VOLTS

Strom:
30 AMPS
30 AMPS

Empfohlene Paketform:
CUSTOM
CUSTOM


Dimensions:
Standard
Metrik

Overall:
44.09 x 42.13 x 51.18 in - 1322.76 lb
1120 x 1070 x 1300 MM - 600 KGS


Disclaimer

Dieser Posten wird im Ist-Zustand am gegenwärtigen Standort veräußert. Wir empfehlen, dass Sie für Ihre eigene Inspektion einen EquipNet-Vertriebsmitarbeiter kontaktieren. Der Posten befindet sich in

Europe.

This equipment is subject to a removal and loading charge.


Die für diese Ausrüstung bereitgestellte Beschreibung stimmt EXAKT mit dem überein, was Sie erhalten, wenn Sie sich für den Kauf dieses Listings entschieden haben. Jedwede Posten, die nicht in der Beschreibung enthalten sind, aber in der optischen Darstellung dieses Listings erscheinen, werden in den Verkauf nicht einbezogen. Fotos und Videos werden ausschließlich zu Referenzzwecken bereitgestellt bzw. um einen generellen Eindruck des Zustands gewinnen zu können.

Customers who viewed this item also viewed this