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Revestidora de Superficie Vacuum Process Technology, LLC CITATION 32x46 IC


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Ubicación:  East Asia/Pacific

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Descripción del equipo
Vacuum Process Technology, LLC CITATION 32x46 IC Surface Coater

  • Equipment is used for coating lenses that are used in high-power laser sources

    Vacuum chamber
  • Stainless steel vacuum chamber with front door opening for convenient operation
  • There are diameter observation doors with hatch to observe the sputtering process
  • Internal dimensions: 32x46 inch (812x1168 mm)

    Vacuum pump system
  • 1. Cryo vacuum pump
  • Manufacturer: CTI - USA
  • Critical vacuum up to 6 x10-6 mbar.
  • Helium compressors: 9600
  • Power: 5.5 kW
  • Pressure: 400 PSIG / 2758 kPa

  • 2. Primary vacuum pump
  • Model: E2M80
  • Manufacturer: Edwards - UK
  • Suction speed: 80 m3 / h
  • Power: 3 kW
  • Each position can be mounted: 4 models 73 mm (diameter) or 13 models 50 mm (diameter)
  • There is a heating function for the sample base.

    Electron beam source
  • Model: CV-12SLX
  • Manufacturer: Temescal - USA
  • Output voltage: 12 kW at maximum 10 kV, adjustable from 0-10 kV ± 5%
  • Precise voltage control
  • Instant arc restoration
  • Air cooling
  • Beam intensity: Adjustable from 0–1200 mA; ± 5%
  • Quantity: 2 sources of Electron

    Ion source and power controller
  • Model: MKII + HO
  • Manufacturer: Veeco - USA
  • Anode voltage: 150 - 200 V
  • Maintenance source: 1500 mA
  • Gas flow: 10 to 20 scm
  • Anode current: 1 to 10 A
  • Neutral current: +200 to + 1000 mA
  • Quantity: 1 gun

    The coating thickness measurement system is made of quartz crystal
  • Model: IC / 5
  • Manufacturer: Inficon - USA
  • Crystal frequency: 6.0 to 4.5 MHz
  • Measured thickness: 0.00577 ? to 0.01016 ?
  • Accuracy: 0.5%
  • Frequency error: ± 2 ppm 0-50 0C

    Equipment is used for coating lenses that are used in high-power laser sources


  • Especificaciones:
    Estándar
    Métrico
    Fabricante
    Vacuum Process Technology, LLC
     

    Año:
    2007
    2007

    Frecuencia:
    50 HERTZ
    50 HERTZ

    Fase:
    3
    3

    Voltaje:
    380 VOLTS
    380 VOLTS

    Modelo:
    CITATION 32x46 IC
    CITATION 32x46 IC


    Dimensiones:
    Estándar
    Métrico

    General:
    13.12 x 6.56 x 9.84 ft - 6613.80 lb
    4 x 2 x 3 M - 3000 KGS

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