Número do item 715890

Equipamento de Gravura a Plasma Tegal - OEM Group, Inc Tegal 903e


Moeda Aceitável de Vendedores:

€5,900.00 EUR

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Localização:  Europe

Nível de Remoção:  

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Descrição do equipamento
Tegal - OEM Group, Inc Tegal 903e Plasmaätzgerät The etcher for sale is a Tegal 903e system, - was used for etching silicon nitride with fluorine chemistry. - the installed wafer size for the system is 4” - installed gas lines: SF6, O2, CFCl3, Ar, N2 - with front facade/panel as this is a “through the wall” system - vacuum pump for this system (Edwards 40 ) is there, - no chiller - with Monitors and and keyboards - serial no. 11295 (at least this is the ser. no. of the reaction chamber) - the year of manufacture is 1987 - Power: 220 VAC, 30 amps - System is deinstalled Sizes and Weight of system and items are estimated


Especificações:
Padrão
Métrico

Nome do fabricante
Tegal - OEM Group, Inc
 

Ano:
ca. 1987
ca. 1987

Número de Série:
11205
11205

Modelo:
Tegal 903e
Tegal 903e

Capacidade do Processo:
was not used for more than an year
was not used for more than an year

O Sistema está em Execução ou Desligado?: :
POWERED OFF
POWERED OFF

O sistema é genérico ou possui processo específico? :
GENERIC
GENERIC

Última Data de Operação Conhecida::
12/2017
12/2017

Tensão:
220 V VOLTS
220 V VOLTS

Corrent:
30 AMPS
30 AMPS

Forma Recomendável da Embalagem:
CUSTOMIZADO
CUSTOMIZADO


Dimensões:
Padrão
Métrico

Total:
44.09 x 42.13 x 51.18 in - 1322.76 lb
1120 x 1070 x 1300 MM - 600 KGS


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