Angebots-Nr. 1142385

Messgeräte FRT Form Factor MicroProf 200 Optical

gebraucht FRT Form Factor Messgeräte Zu verkaufen

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Beschreibung der Ausrüstung
FRT MicroProf 200 Optical high performance measuring device
SPECIFICATIONS

Confirmed (from our documentation):
- Manufacturer: FRT - Fries Research & Technology GmbH (now FormFactor)
- Model: MicroProf 200
- Year of purchase: 2014
- Original acquisition cost: EUR 145,000
- Three integrated sensors: WLI (VSI/EPSI modes), confocal microscope (CFM Dual), chromatic point sensor (CWL)
- Black granite base plate
- Motorized XY stage (closed-loop, with encoder) and motorized Z-axis
- 2D and 3D roughness/waviness per DIN EN ISO
- Footprint approx. 150 x 80 cm; weight approx. 275 kg

Per manufacturer manual (model-level specification, to be confirmed for this exact unit):
- Vertical resolution: down to approx. 3 nm (best sensor); approx. 10 nm with the standard optical sensor over the full Z range
- Lateral resolution: approx. 1-2 um
- Vertical measuring range: approx. 300 um up to 50 mm depending on sensor
- Measuring rate: up to 4000 Hz
- Sample height up to 50 mm, sample weight up to 5 kg

Assumed / estimated - NOT yet confirmed (flagged as assumptions):
- XY travel range: approx. 200 x 200 mm (ASSUMED, from the "200" model designation)
- XY stage type: precision air-bearing stage (ASSUMED; to be confirmed)
- XY positioning repeatability approx. 1 um / Z accuracy approx. 100 nm (ASSUMED, from comparable FRT datasheets)
- Exact per-sensor model numbers and individual measuring ranges (not yet documented; we are retrieving the original device specification sheet)


Technische Daten:
Standard
Metrik

Name des Herstellers

FRT Form Factor
 

Modell:

MicroProf 200 Optical
MicroProf 200 Optical

Empfohlene Paketform:

CRATE
CRATE


Abmessungen:
Standard
Metrik

Insgesamt:

47.99 x 35.98 x 67.95 in - 440.92 lb
1219 x 914 x 1726 MM - 200 KGS

Haftungsausschluss:

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Jede mit diesem Gerät verbundene Lizenz ist nicht übertragbar.
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