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Equipo de Medición FRT Form Factor MicroProf 200 Optical
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Descripción del equipo
SPECIFICATIONS
Confirmed (from our documentation):
- Manufacturer: FRT - Fries Research & Technology GmbH (now FormFactor)
- Model: MicroProf 200
- Year of purchase: 2014
- Original acquisition cost: EUR 145,000
- Three integrated sensors: WLI (VSI/EPSI modes), confocal microscope (CFM Dual), chromatic point sensor (CWL)
- Black granite base plate
- Motorized XY stage (closed-loop, with encoder) and motorized Z-axis
- 2D and 3D roughness/waviness per DIN EN ISO
- Footprint approx. 150 x 80 cm; weight approx. 275 kg
Per manufacturer manual (model-level specification, to be confirmed for this exact unit):
- Vertical resolution: down to approx. 3 nm (best sensor); approx. 10 nm with the standard optical sensor over the full Z range
- Lateral resolution: approx. 1-2 um
- Vertical measuring range: approx. 300 um up to 50 mm depending on sensor
- Measuring rate: up to 4000 Hz
- Sample height up to 50 mm, sample weight up to 5 kg
Assumed / estimated - NOT yet confirmed (flagged as assumptions):
- XY travel range: approx. 200 x 200 mm (ASSUMED, from the "200" model designation)
- XY stage type: precision air-bearing stage (ASSUMED; to be confirmed)
- XY positioning repeatability approx. 1 um / Z accuracy approx. 100 nm (ASSUMED, from comparable FRT datasheets)
- Exact per-sensor model numbers and individual measuring ranges (not yet documented; we are retrieving the original device specification sheet)
Especificaciones:
Fabricante
Modelo:
Empaque recomendado:
Dimensiones:
General:
Documentos del activo
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