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Escalador Canon FPA - 2500 i2


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Descripción del equipo
Canon FPA - 2500 i2 Stepper

  • 1) Configuration
    Main Unit: FPA-2500 i2
    Electrical: 3Ø AC 200V 50/60Hz
    Rated power: 18.7 KVA
    Reticle Size: 6", Canon STD
    Wafer Size : "6
    Wafer Feeder: Type-L
    PA Unit: 6", O.F Type
    Chamber: TBW-CD60
    Illuminator: FPA-2500 i line
    Console version:
    A Scope: i-line, TTL
    T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R)
    Support Mount: Servo Passive Damper
    Lamp House: 1.5KW


  • Especificaciones:
    Estándar
    Métrico

    Fabricante
    Canon
     

    Año:
    1994
    1994

    Número de serie:
    401175
    401175

    Modelo:
    FPA - 2500 i2
    FPA - 2500 i2

    Capacidad de producción:
    PHOTO
    PHOTO

    Empaque recomendado:
    PERSONALIZADO
    PERSONALIZADO


    Dimensiones:
    Estándar
    Métrico

    General:
    108 x 96 x 84 IN - 4500 LBS
    2743.20 x 2438.40 x 2133.60 mm - 2041.20 kg


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