Número do item 772346

Escalonador Canon FPA - 2000 i1

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Descrição do equipamento
Canon FPA-2000 i1 Stepper

  • 1) Configuration
    Main Unit: FPA-2000 i1
    Electrical: 3Ø AC 200V 50/60Hz
    Rated power: 15.3 KVA
    Reticle Size: 5", Canon STD
    Wafer Size: "6
    Wafer Feeder: Type-L
    PA Unit: 6", O.F Type
    Chamber: TBW-CD50W
    Illuminator: FPA-2000 i line
    Console version: V5.13B
    A Scope: i-line, TTL
    T/Z-Tilt Unit: Piezo Stack, 3 (L,M,R)
    Support Mount: Servo Passive Damper 4
    Lamp House: 1.5KW

  • Especificações:
    Padrão
    Métrico

    Nome do fabricante

    Canon
     

    Ano:

    1992
    1992

    Número de Série:

    211277i1
    211277i1

    Modelo:

    FPA - 2000 i1
    FPA - 2000 i1

    Capacidade do Processo:

    PHOTO
    PHOTO

    Forma Recomendável da Embalagem:

    CUSTOMIZADO
    CUSTOMIZADO


    Dimensões:
    Padrão
    Métrico

    Total:

    108 x 96 x 84 IN - 4500 LBS
    2743,20 x 2438,40 x 2133,60 mm - 2041,20 kg


    Aviso Legal:

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    Jiangsu Province

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