Número do item 772318

Implantador Varian 160XP

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Descrição do equipamento
Varian 160XP High Current Ion Implanter

  • Compressor: CTI X 4EA
  • Chamber Cryo Pump: CT-8
  • Source Dry Pump: Edward
  • Beamline Dry Pump: Varian Diffusion
  • L/L Rough Pump: Edward

  • Especificações:
    Padrão
    Métrico

    Nome do fabricante

    Varian
     

    Ano:

    1991
    1991

    Número de Série:

    VKL21013
    VKL21013

    Modelo:

    160XP
    160XP

    Tensão:

    208 VOLTS
    208 VOLTS

    Fase:

    3+1
    3+1

    Forma Recomendável da Embalagem:

    CUSTOMIZADO
    CUSTOMIZADO


    Dimensões:
    Padrão
    Métrico

    Total:

    166,14 x 244,09 x 2700 in - 11023,00 lb
    4220 x 6200 x 68580,00 MM - 5000 KGS


    Aviso Legal:

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