Número do item 1080130

Jeol JBX-5500FS Electron Beam Lithography System

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Localização:  Reino Unido

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Descrição do equipamento
Jeol JBX-5500FS Electron Beam Lithography System

System Components Include
  • Layout cables and UK mains transformer
  • 4 Inch Wafer Holder
  • Cooling Water System
  • Liquid Crystal Display
  • Workstation
  • Dry Pump
  • Personal Computer
  • Control Software
  • Three sample holders and the dry box to store them
  • The tool has been maintained approximately annually since installation and seller has service records
  • Note: the electron emitter has expired and will need replacement by the manufacturer or buyer
  • Company is selling system since its not used enough to justify continuing the maintenance contract and do not have expertise in-house to do the work themselves

    Manufactures General Information
  • The JBX-5500FS is an electron-beam lithography system that employs spot-beam vector scanning for sub-micron and nano-lithography.
  • This has two selectable writing modes: High-resolution writing mode (5th Lens mode) for nano-lithography and High-speed writing mode (4th Lens mode) for sub-micron lithography. And the accelerating voltage is also selectable either 25kV or 50kV.
  • The beam scanning speed is up to 12MHz and it realizes high-speed electron-beam lithography.
  • The stage moving system employs step-and-repeat method and the stage position is controlled by high-precision laser interferometer. This stage can load a wafer substrate up to 4 inches.
  • The control system of the JBX-5500FS employs Microsoft® Windows® PC. The graphical and streamlined user-interface from pattern design to writing enables easy operation.

  • More detailed specifications including service reports & performance test results are available upon request
  • NEW price was over £700,000 Euros


  • Especificações:
    Padrão
    Métrico

    Nome do fabricante

    Jeol
     

    Ano:

    2012
    2012

    Número de Série:

    SB8011000080001
    SB8011000080001

    Modelo:

    JBX-5500FS Electron Beam Lithography System
    JBX-5500FS Electron Beam Lithography System

    Tensão:

    100 / 200 VOLTS
    100 / 200 VOLTS

    Frequência:

    50/60 HERTZ
    50/60 HERTZ

    Forma Recomendável da Embalagem:

    CAIXA
    CAIXA


    Dimensões:
    Padrão
    Métrico

    Total:

    40,55 x 40,55 x 70,87 in - 2,20 lb
    1030 x 1030 x 1800 MM - 1 KGS

    Documentos de Ativo
    Aviso Legal:

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    Europe

    Quaisquer itens que não estão na descrição, mas aparecem nas representações visuais, não serão incluídos na venda. Remoção, desmontagem, embalagem, seguro e frete: custos de responsabilidade do comprador.


    Quaisquer itens que não estão na descrição, mas aparecem nas representações visuais, não serão incluídos na venda. Remoção, desmontagem, embalagem, seguro e frete: custos de responsabilidade do comprador. Poderão haver requisitos específicos na execução dos serviços dentro da área do vendedor. Poderá ser obrigatória a realização dos serviços somente por empresas que já são homologadas pelo vendedor.
    Termos do Direito de Devolução :



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